第268章 搬空
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王建新踩着飞剑,夜风从耳边呼啸而过,他飞了一阵,远远看见前方海面上停着几艘军舰,灰白色的舰体,在月光下泛着冷光,炮塔指向天空,雷达在慢慢旋转。
他放慢了速度,悬在半空中,低头看着那些军舰。一共十几艘,大大小小,排列整齐,像一群趴在海面上的铁乌龟。
“喂不熟的狗,那就得打痛它。”王建新自言自语。
他抬手,一个火球从掌心飞出。橘红色的,拳头大小,拖着尾焰,划破夜空,直奔最近的那艘驱逐舰。
“轰——”
火球撞在舰桥,炸开,火光冲天。紧接着,军舰内部传来一连串闷响,弹药库被引爆了。更大的爆炸从舰体深处炸开,钢板被撕裂,炮塔被掀飞,碎片飞出去几百米远,落在海面上,溅起一朵朵水花。火光映红了半边天,浓烟翻涌,像一朵黑色的蘑菇云。
王建新没停手。他左右开弓,火球一个接一个地从掌心飞出,有的打在舰体中部,有的打在舰尾,有的直接落进烟囱里。爆炸声此起彼伏,像除夕夜的鞭炮,一声接一声,连绵不绝。
“轰——轰——轰——”
海面上火光冲天,十几艘军舰同时燃烧,像十几支巨大的火把。弹药库接连爆炸,碎片飞溅,火光把周围的海域照得亮如白昼。
“别说,还挺好看。”王建新看着那片火海,嘴角翘了一下。那些军舰在燃烧,在下沉,在海面上翻滚,像临死挣扎的巨兽。
不到半小时,几十艘军舰便咕噜噜地沉入了海底。海面上只剩下一片残骸、油污和还在燃烧的碎片。浪涌过来,把那些残骸卷走了。海面渐渐恢复了平静,只有黑烟还在往天上飘。
王建新想了想转过身,踩着飞剑,往陆地飞去。
他决定要去另一个地方。
城郊,东芝旗舰级超大规模集成电路研发生产基地。这座被日本半导体行业奉为“心脏”的厂区,此刻笼罩在深夜的静谧之中。几栋灰白色的建筑连成一片,外围拉着高高的铁丝网,每隔几十米就有一个探照灯。灯光来回扫射,在黑暗中画出一道道光柱。
王建新悬在半空中,用神识扫了一遍。外围戒备森严,荷枪实弹的安保人员二十四小时不间断巡逻,穿着深色制服,戴着钢盔,腰间别着手枪。每隔一段距离就有一个岗亭,里面坐着人,面前的监控屏幕上显示着厂区各个角落的画面。围墙上有红外预警网,密密麻麻的感应器,连一只飞鸟靠近核心厂区,都会瞬间触发警报。
“还挺严。”王建新笑了笑。
他神识一动,化作无数细针,无声无息地刺向那些安保人员。一个接一个,从外围到内围,从岗亭到巡逻路线,所有安保和工人在同一瞬间失去意识栽倒过去,失去了生命体征。有人趴在桌子上,有人靠在墙上,有人躺在地上。监控屏幕上的画面还在动,但已经没人看了。
王建新落下来,踩在厂区的水泥地面上。四周安静得只剩下风声和远处机器的嗡嗡声。
这里是日本乃至全球最顶尖的半导体科研与量产中心,汇聚了全日本最顶级的技术、最精密的设备。每一寸土地、每一台设备,都价值连城,承载着日本称霸全球半导体市场的野心。就连美国都垂涎不已,想方设法要获取这里的技术。
王建新迈步走进核心生产区,他的神识已经覆盖了整座厂区,每一个车间、每一间实验室、每一台设备的位置,都清清楚楚。
最先被笼罩的,是厂区最核心的CSS1级超洁净无尘车间。这里是半导体生产的重中之重,空气经过层层过滤,比手术室还干净几百倍。
王建新站在车间门口,透过玻璃窗往里看。车间里灯火通明,全自动生产线正在运转,机械手臂无声地起落,晶圆在轨道上滑行,没有人,只有机器的运动在静静进行着。
他推开门,走进去。脚下踩着防静电地板,头顶是密密麻麻的通风管道和照明灯。空气里有一股淡淡的臭氧味。
第一台设备,尼康NSR-1505Gg线步进光刻机。这是1986年全球分辨率最高、精度最顶尖的光刻设备,整个半导体产线的灵魂。机身重达数吨,稳稳地固定在地面上,四周连接着各种管道和线缆。王建新神识一扫,意念一动,整台设备凭空消失,只留下地面上一个方方正正的印记和几截断开的管线。
紧随其后的是佳能FPA-1500FA缩小投影步进曝光机。两台堪称行业巅峰的光刻设备,瞬间被尽数收走。车间里一下子空出了一大片。
王建新继续往里走。
一整条全自动光刻胶涂布显影生产线出现在眼前。东京电子生产的轨道式一体化涂胶、显影、烘焙联机设备,从晶圆上料、涂胶、烘烤到显影,全流程无人操作。传送轨道、机械臂、旋转涂胶机、热板、冷板,每一台设备都紧密衔接,配合得天衣无缝。王建新神识覆盖上去,整条生产线连同配套的传输轨道、控制系统,瞬间消失。地面上只剩下一排排裸露的螺栓孔。
干法刻蚀车间。日立M206A微波等离子单片式RIE干法刻蚀机,全球首发的设备,是实现芯片精密刻蚀的核心。旁边还有东京电子批量式反应离子腐蚀刻蚀集群,数十台高端刻蚀设备排列整齐,像等待检阅的士兵。王建新一台不落地全部收走,连同配套的真空系统、气体供给系统也一并收入空间。车间里一下子空了,只剩下墙上的操作面板和地上的电缆槽。
热工艺与掺杂区域。东京电子立式全自动高温扩散炉,炉管还散发着余温。日新电子中速大束流离子注入机,体积庞大,管线复杂。高压超纯氧化生长炉,炉门紧闭,透过观察窗能看见里面的红光。这些垄断全球的掺杂与热处理设备,一台台有序地被收入空间,全程保持着设备原本的精密状态,没有一丝磕碰。
薄膜沉积车间。多腔体等离子PECVD化学气相沉积机,磁控溅射金属镀膜机,超高洁净气相外延炉。整套完整的薄膜生长与沉积设备,支撑着芯片内部电路与薄膜结构的制造。王建新神识一扫,全部收走。
再往厂区深处走,是高端检测与封测区域。日立、岛津的超高分辨率SEM扫描电镜,晶圆全自动AOI缺陷检测仪,高精度探针台,全自动金丝球焊封装生产线,切筋成型智能设备。从芯片检测到封装测试的全套高端设备,没有一台被落下。王建新一路走一路收,脚步不快不慢,像是在逛商场。
出了生产区,他转向厂区北侧。
那里是顶级半导体科研实验室,汇聚了全日本最前沿的科研设备。电子束直写曝光机,X射线光刻研发样机,超高精度晶圆参数分析仪,单晶材料研发设备,芯片工艺研发试验台。仪器一台接一台,桌面上摊着各种图纸和记录本。
靠墙是一排排铁皮柜,里面塞满了核心技术图纸、研发数据硬盘、工艺参数手册。王建新打开一个柜子,随手翻了翻,厚厚的图纸,密密麻麻的数字,他看不懂,但知道这些东西比生产设备更珍贵。
他把整个实验室打包了。设备、仪器、图纸、硬盘、手册,连同实验室里的超算中心、科研仪器,全部被席卷一空。连实验台上的笔记本都没留下,笔还插在笔记本里,一起收走了。
出了实验室,王建新又转了几个地方。超纯水中央供给系统,管道纵横交错,储水罐有几层楼高。特种超高纯电子气体存储输送系统,一排排钢瓶码在架子上,贴着各种标签。全厂区智能工业总线中控系统,操作台上有几十个屏幕,显示着各个车间的运行状态。信越8英寸超高纯单晶硅原材料仓库,架子上码着一摞摞晶圆盒。精密零部件备用库房,各种型号的备件分类存放。
所有与半导体生产、科研相关的配套设施、原材料、备用设备,统统被空间力量笼罩,一寸不剩地收入空间。
从光刻、刻蚀、掺杂、薄膜沉积,到涂胶显影、检测封测,从量产级全自动生产线,到科研级前沿试验设备,再到核心技术资料、高端原材料、全套配套系统。整座东芝顶级半导体工厂,在短短几十分钟内,被彻底搬空。
王建新站在厂区中间,环顾四周。原本灯火通明、设备轰鸣的厂区,现在变得空空荡荡。只剩下空旷的厂房、冰冷的地面,以及散落的零星杂物。那些价值连城的高科技设备、生产线、实验室、图纸、原材料,尽数消失无踪,仿佛从未存在过一般。
他想起那些被销毁的军舰,想起那些沉入海底的钢铁残骸和尸骸。军舰是他们的爪牙,半导体是他们的心脏。爪牙断了还能再长,心脏没了,就彻底完了。
“行了,够用了。”王建新自言自语。
他最后看了一眼那几栋空荡荡的厂房,身形一闪,消失在夜空中。
脚下,整个半导体行业的“心脏”,已经停止了跳动。灭掉他们的安保和工人很轻松,搬空他们的设备也很轻松。但明天天亮以后,这个国家会变成什么样子,他懒得想。他只知道,那些设备运回国内,那些图纸和技术资料,够以后自己的科研人员研究好一阵子了。
他踩着飞剑,往西飞去。空间里的物资又多了一大堆,光刻机、刻蚀机、离子注入机、扩散炉、检测仪、超算中心,堆在空间的一角,像一座钢铁森林。那些晶圆盒一摞一摞的,码得整整齐齐。图纸和硬盘装在铁皮柜子里,摞在角落里。
他看着那些东西,心里只有一个字:爽。
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