第229章 步进式光刻机成功！

沈永健屏住呼吸，手中动作愈发沉稳。 特制的光学镜头被精密夹具悬吊，他不断调整着微米级的定位螺杆，直至镜筒与基座接口纹丝咬合。 “咔哒~！” 一声低低的脆响在此刻穿透车间。 物镜严丝合缝地嵌入光刻机主体。 “成了！？” 刘师傅干哑的嗓子喃喃自语道，带着污渍的手在工装裤上狠狠攥紧。 卓邵文蜡黄的脸上双眼血丝依旧，自从负责光刻机后，对方一样是这次项目研制中，投入精力最多工作时间最长的一位。 此刻目光紧盯着才组装完成的步进式光刻机，心中既兴奋又紧张。 余下众人站在数米开外，此刻同样兴奋。 沈永健当下并未着急，而是环顾这台大家伙周身，又细细检查了一圈。 这才在众人的注视下，按下了总控开关。 “嗡——！” 低沉的共振声从机箱深处传来。 汞灯的冷光霎时亮起，透过崭新的物镜在硅片承载台上投下一圈光斑。 氮气吹管嘶嘶低鸣，冷却水循环系统平稳运行。 步进电机发出精准的“嗒嗒”声，工作台沿导轨滑出流畅的直线，控制面板的指示灯不断闪烁后，最终平稳下来。 “邵文同志，先进行投影分辨率测试。” 沈永健沉稳地发出指挥，卓邵文立刻到操作台前，将校准掩膜版推入光路中。 下一刻汞灯亮度瞬间提了好几度，经过多层透镜组的聚焦，最终在投影屏上炸开一道深紫色的光锥。 而显微镜的目镜之中，0.5微米的测试线条纤毫笔直，边缘锐利。 显然，北春光电所的物镜完美达标，且这一路运来也未让这物镜有任何的磕碰偏差。 “投影分辨率测试通过！” 第一项最重要的测试通过，在场众人都悄然松了口气。 刘师傅更是咧嘴笑了起来，露出长期抽烟的黄牙，沙哑低语道。 “我就猜能过！” “这台可比咱们原先的机子亮堂多了！这光刺得我眼睛都睁不开！这要是都不通过都没天理了！” 闻言，其余同志也跟着附和起来。 沉闷凝重的场面一时间愈发缓和。 “下一项套刻精度测试。” “这测试我们轮流来吧，曹文三你今晚先顶上，邵文同志，曲嵩，张伟森，顾江河你们按次序排，直到测试完成。” 套刻精度测试也是光刻机极为重要的一项测试。 不过其测试并非孤立，更像是机器启用前的一整套初始误差建模与补偿模型组建。 相当于将整个曝光场的一整套序列曝光，提前检测出实际的误差，这些测试的误差数据会由计算机计算后生成第一版标准误差补偿参数环境。 与炮弹实际发射的“修正本”有着异曲同工之妙。 只是这项工作可不是当天便能完成的，需要四五天的时间，众人接力轮流完成。 “沈工！没问题！” … “吴姐还有克勤同志，咱们趁着这几天抓抓紧，将最后的版图验证完成。” “争取在这台步进式光刻机测试完成后，开启第一次的流片工作。” 到了集成电路，虽然工艺思路上还是"平面工艺"那套，但实际的工艺和流程会复杂太多。 晶体管那时还无需“流片”，而到了集成电路这块，流片算是整个集成电路成不成功的决定性标志。 尤其是越大规模的集成，“流片”的难度也会以指数级上升！ … 五天后，国庆的庆典在首都刚过。 今年沈永健同样受到了邀请，只是因为流片的掩膜版工作原因，最终是放弃了出席。 好在首都微电子厂还有张厂长作为代表前去出席，同时厂里的二代电视机也再次成为献礼产品。 一连三年，微电子厂已然成为献礼专业户。 当然，今年国庆献礼之中最亮眼的并非是电视机或者冰箱这种家用电器，而是国内重工业的又一项突破，红旗轿车！ 报纸和新闻眼下的话题也全在这款自主生产的汽车上。 只是外界的一些纷纷扰扰，此刻都没法打扰沈永健的工作思绪。 今日的保密研制车间内。 那台银色的庞大机器还在由数人连班接力，日夜不停进行测试。 其中套刻精度测试已经在今早完成。 这会儿上午八点多，研发处的同志因昨日收到通知，已早早再度聚在此处。 当照明均匀性测试的最后一组数据在示波器上定格时，屋外沈永健也带着周克勤等人踏入。 卓邵文才将数据记录，目光便立刻望向他，干裂的嘴唇动了动，带着振奋的沙哑声线在车间内响起。 “畸变率0.12%，场曲误差±0.18微米…” “沈工！畸变与场曲测试，照明均匀性测试皆达标！” 沈永健接过他手中递来的测试报告数据，一共五项检测，数据悉数达标，甚至个别几项还超过了他设计时的理论预期。 在反复检测之后，沈永健最终点了点头。 在众人希冀的目光下，最终振奋且坚定的开口宣布道。 “同志们，咱们第二代步进式光刻机，研制完成！” “依照目前的光刻机性能，绝对是国际第一！” 步进式光刻机，一个划时代的光刻机。 在眼下国际上还只有接触式光刻机，甚至发达国家的个别研究所还在用“土光刻机”的背景下。 这台步进式光刻机，绝对是里程碑式的进步。 代表着国内光刻工艺第一次超越各国，坐上国际第一的位置上！ “呼~！” 卓邵文当下长舒了口气。 光刻机的重压一直由他担着，四个月的各单位组织联系，协调生产与检测工作。 直到今天，在沈永健这个眼下国内微电子领域的权威者口中宣布落成。 当下最先感到的是一阵轻松，原先挺直绷紧的脊背也随着长叹松懈下来。 从最早的土光刻机，到如今的第二代光刻机，他早已将研究重心全放在这一块上。 哪怕实际二代光刻机的图纸并非是他主导，但能辅助设计最终由自己落实，他心中也早已满足。 松懈下不过片刻，心中一股自豪感油然而生！ 双拳紧紧攥着，目光再度投向沈永健。 只是沈永健这会儿可没像他这般放松，只是等众人稍稍缓和后便立刻下达指令道。 “准备流片！” ……