第77章 联调倒计时

总装完成的第三天，整机联调，正式启动。 联调动员会上，苏宇只说了三句话： “这台机器，装起来了，不算本事。跑起来，才叫本事。“ “联调这一关，咱们没有捷径，只有死磕。“ “死磕出什么结果？死磕出龙国自己的芯片。“ 他顿了顿，目光扫过台下：“任务倒计时，十四天。联调、流片，全在这十四天里。我苏宇，陪你们一起磕。“ “磕！“台下，齐声回应。 联调，正式开始。 “点火！“ “轰——“ 光源模块的激光束，在真空腔体内炸开一团炽白的等离子体。极紫外光沿着光路，穿过层层叠叠的光学镜组，向着工件台方向汇聚。 “光源正常！545瓦，稳定输出！“ “光学链路，光传输效率78.2%，符合预期！“ “工件台，纳米级对准开始！“ 控制屏上的数据流，如瀑布般滚动。王磊站在主控台前，眼睛一眨不眨。 “第一项测试——稳定运行八小时。“他按下计时键，“从现在起，八小时内，整机不能停。“ “如果能撑过八小时，“他对身边的工程师说，“咱们离成功，就只剩一半路了。“ 第一个小时，一切正常。 第二个小时，依然稳定。 第三个小时，数据开始出现波动。 “光源功率，出现0.3%的抖动。“张工盯着屏幕，眉头皱起来，“幅度不大，但频率在加快。“ “先观察。“王磊沉声说，“0.3%的抖动，在可接受范围内。“ 第四个小时，抖动加剧。 “功率抖动扩大到1.2%！“张工的声音变了，“照这个趋势，撑不到八小时！“ “停机排查！“王磊当机立断。 整机联调第一次测试，在第四个小时，宣告失败。 厂房里，一片沉默。 有人颓然坐在椅子上，有人低头盯着数据发呆。准备了这么久，盼了这么久，第一脚油门，就熄了火。 “都愣着干什么？！“王磊把记录本往桌上一拍，“一次失败就蔫了？光源首测失败的时候，咱们是怎么爬起来的？！“ “查！“他红着眼眶，“老子就不信，这个坎儿过不去！“ 陈博士走过来，拍了拍他的肩膀：“王总，先别急。功率抖动的规律，我看了——不是随机波动，是有周期性的。“ “周期性？“ “对。“陈博士在屏幕上圈出几段曲线，“每四小时一个周期，跟压电陶瓷的温升曲线完全吻合。这说明——问题出在温度上，不是出在原理上。“ “原理没错，那就有救。“王磊的精神，猛地一振。 “功率抖动……“苏宇走进控制室，“查出来了吗？“ “初步判断，是锡滴发生器的问题。“张工指着数据，“激光轰击锡滴的频率，和等离子体产生的频率，出现了相位漂移。频率一偏，功率就跟着抖。“ “相位漂移……“苏宇想了想，“是锡滴发生器的压电陶瓷，受热变形了？“ “对。“张工点头，“连续运行四小时，压电陶瓷的温度升高，形变量超出补偿范围。“ “那就在压电陶瓷外面，加一套主动温控。“苏宇说，“让它的温度，始终稳定在补偿曲线之内。“ “可加主动温控，要重新设计结构……“ “五天。“苏宇说，“我给你们五天，解决这个问题。“ “五天？！“张工一瞪眼，“苏总，重新设计一个温控结构，最快也要十天……“ “等不了十天。“苏宇摇头，“任务倒计时，只剩十四天了。“ “十四天里，要完成联调、流片——一天都浪费不起。“ “那也不能用五天去赌啊……“张工急了。 “张工，“苏宇看着他，一字一句，“我信你。“ “光学、光源、工件台，每一关，你们都是踩着“不可能“过来的。这一次——我也信，你们能行。“ 张工怔了怔，最后咬牙：“行！苏总，你把话放这儿了，我张工就是不吃不睡，五天之内，把温控结构给我造出来！“ “去吧。“苏宇拍拍他的肩膀。 联调倒计时第十三天。 张工带着光源组，连轴转了四天四夜，压电陶瓷主动温控结构，终于装上了试验台。 “二次点火！“ “轰——“ 等离子体的白光，再度亮起。 这一次，功率曲线，稳稳地趴在545瓦上。 一小时。 两小时。 四小时。 六小时。 “八小时到了！“张工的声音，嘶哑却亢奋，“稳定运行八小时——通过！“ 厂房里，爆发出一阵压抑已久的欢呼。 “第一项测试过了！“ “整机稳定运行，八小时零故障！“ 苏宇也松了一口气。他看了看系统面板——任务倒计时，还剩十一天。 “接下来，“他说，“第二项测试——动态联调。“ “光源、工件台、光学、软件，四模块协同。模拟真实流片工况，连续运行十六小时。“ 联调倒计时第十天。 第二项测试，开机两小时，出现新问题。 “工件台在高速移动时，光学链路的对焦出现滞后！“陈博士盯着屏幕，“滞后时间大约0.8毫秒。“ “0.8毫秒……“王磊沉吟，“这个滞后，会导致曝光位置偏差。0.5纳米的制程，0.8毫秒的滞后，足以让一片晶圆报废。“ “什么原因？“苏宇问。 “软件的问题。“陈文渊的声音从扬声器里传来。他人在芯片设计中心，远程参与联调，“四模块协同的同步逻辑，用的是传统的时间片轮转算法。光源、工件台、光学各有自己的时钟，同步靠软件对齐——高速工况下，软件对齐的延迟就暴露了。“ “有没有办法？“苏宇问。 “有。“陈文渊说，“改用事件驱动架构——让光源出光事件，直接触发工件台和光学的响应。事件驱动，零延迟。“ “改架构？“王磊皱眉，“联调都跑到一半了，现在改软件架构……“ “风险大，但值得。“陈文渊的声音很稳，“我带着团队，二十四小时在线。三天之内，把新架构切上去。“ 苏宇沉默了几秒。 任务倒计时，只剩八天。 “陈工，“他缓缓开口，“你有多大的把握？“ “七成。“陈文渊说，“苏总，我在高通十二年，改过不下二十次架构。这一次，我赌上这十二年的经验——三天，一定给你一个新架构。“ “好。“苏宇点头，“三天。软件组，全力配合陈工。“ 联调倒计时第七天。 陈文渊的新架构，在第四天凌晨三点，切入了整机。 “二次联调开始！“ “点火！“ “光源正常！工件台同步正常！光学对焦正常！“ “动态工况模拟——开始！“ 这一次，四模块像咬合严密的齿轮，高速运转，分毫不乱。 “对焦滞后——消除！“ “曝光位置偏差——0.1纳米以内！“ “连续运行十六小时——通过！“ 厂房里，欢呼声再次响起。 苏宇看着那台轰然运转的钢铁巨兽，心里却并没有完全放松。 他调出系统面板。 “任务【EUV总装】：当前进度：2/3——总装（完成）、联调（进行中）、流片（未完成）。“ “剩余时间：6天。“ 六天。 联调还剩最后一项——整机连续稳定运行四十八小时。 只要四十八小时一过，就能进入流片。 “王磊，“苏宇说，“最后一项，四十八小时连续运行。安排三班倒，全程盯死。“ “是！“ 四十八小时联调，是整台光刻机最硬的一仗。 林晚晴的直播团队，在外面支起了一块大屏幕，全程同步显示联调倒计时——她不拍核心数据，只拍倒计时，和厂房门口那一排越摞越高的盒饭。 “家人们，“她举着手机，声音有些沙哑，“联调进入最后冲刺了。四十八小时，只要这四十八小时不出问题，咱们的芯片，就能从这台机器里流出来。“ “苏总他们已经驻厂半个多月了。今天送饭的阿姨说，苏总这几天，瘦了一圈。“ 弹幕里，全是心疼和加油。 “苏总加油！龙国加油！“ “工程师们辛苦了！“ “四十八小时！一定能过！“ 夏若雪把补给站又扩大了一圈，姜茶、热汤、退烧药、血压计，一应俱全。她甚至还带来了两个小护士，守着三班倒的工程师，谁的身体顶不住，立刻强制休息。 “夏小姐，我没事……“一个工程师被按在椅子上量血压，还想挣扎。 “血压149，心跳偏快。“夏若雪淡淡地看了他一眼，“你现在该做的，是休息二十分钟，而不是逞强。“ 工程师张了张嘴，最后还是乖乖坐下了。 楚冰则在每天深夜，准时出现在控制室。她带来的不是文件，而是一叠冰芯二号产线的最新数据——这些数据，是四十八小时联调里，最真实的“下游反馈“。 “冰芯那边，已经做好接机的准备了。“她把数据放在苏宇面前，“只要你这边流片，那边就能立刻开足马力。“ “好。“苏宇看着她，“等这台机器跑起来，咱们的芯片，就能铺满整个龙国。“ “不只是龙国。“楚冰说，“是全世界。“ 四十八小时联调，在所有人的屏息中，开始了。 第一个二十四小时，平稳度过。 第二十五个小时，张工忽然发现，光源功率曲线，出现了一个极其细微的抖动——只有0.05%，转瞬即逝。 “不对。“张工皱眉，“这个抖动，不像是热漂移……“ “热漂移的抖动是渐变的，这个是瞬时的。“他调出数据，“像是……有东西干扰了光路。“ “干扰？“王磊凑过来，“厂房是全屏蔽的，哪有东西能干扰光路？“ “不清楚。“张工盯着屏幕，“先盯着，如果再出现一次，就停机排查。“ 第二十九个小时。 抖动，再次出现。 这一次，王磊看清了——抖动的瞬间，光学镜组区域的振动传感器，跳了一下。 “光学区有振动？“王磊的脸色变了，“厂房是无尘全隔离的，哪来的振动？“ 他抬起头，看向厂房深处——光学镜组的方向。 镜组的护罩边缘，一道极淡的影子，一闪而过。 王磊的瞳孔，骤然一缩。 “监控！“他猛地抓起对讲机，“光学区监控，回放第二十九个小时的画面！“ 几秒后，对讲机里传来值班员惊惶的声音：“王总……光学区B通道的监控，出现了三秒钟的黑屏！“ “黑屏？“王磊的手，开始发抖，“三秒钟黑屏——然后呢？“ “然后画面恢复了，看起来一切正常……“ “不对。“王磊一字一句，“有人，进过光学区。“ 他的目光，落在镜组护罩的方向，眼底，掠过一抹冰冷的寒光。 联调还在继续。 但他知道——有一只手，已经伸进了这台光刻机的心脏。