第341章 与尖端的差距！林决带来的信心！

紧接着。 一个被林决规划好的消差工程节点图，出现在众人眼中。 林决声音随之传来， “前辈们也都清楚，EUV反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差，是因为8米极紫外长光程的全局波前基线失配产生的。” “目前我们的做法和国外一样。” “......用11块钼硅多层膜，通过反射镜在斜入射入，让膜层反射偏差经过8米的光程，11的次反射线性累积，最后形成固定波前畸变。” “我看了胡老给的手稿。” “目前，我们光机所单块反射镜精度极致工艺水平，面形0.2nmRMS，13.5nm反射率65%......” “对比蔡斯，ASML的成熟量产水平来看，面形差了0，反射率差也差了足足5%！” “而在多次反射累计后......” “这个差距变得更大了。” “我们全链路最终波前精度是1.2nmRMS，而ASML的，是0.15nmRMS。” “整整8倍的差距！！！” “在这个数据下，实际工况仅能完成单根纳米线的原理验证！” “没办法......我们既缺少高端测量仪器，还没有精准的全局耦合补偿模型......连实际误差都拿不到。” 林决的声音在会议室内回响。 他口中的这些问题，在座诸君都是清楚，也是他们为此努力奋斗解决的目标。 根据目前的进展来看...... 要追上国外目前量产水平，在原本规划中，可能还要个十二三年左右的时间。 注意..... 这里林决说的还是量产水平，而并非最尖端产品！ “但现在......” “根据我列出的工程节点推导。” “林氏函子光学变式......咳咳......请允许我先用这个名字称呼它。” “我们是不是可以将它先做跨尺度同构映射，然后将零散值变成全局真实的分布呢！？” “这样做的话，我们就不用再去推演11次反射的相位积累.......” “而是将十几个零散的可见光测量指数函子，完成两个关键映射！” “大家且看......” 说着，林决点开其中一个节点示例，一个更加直观的模型图落入众人眼中。 “通过这种方式。” “我们可以同构映射13.5纳米的EUV波长分布，以及同构11块镜子串起来后的误差分布。” “如此一来。” “我们便能准确知道，每一块镜子的具体相位偏差。” 核心专家组们听到此话后，不禁陷入沉思。 很快，有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问， “林决你的想法很新奇，不过我有点疑惑，你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压？” 一听这话。 林决笑了出来，就在这儿等着你呢。 他关掉当前画面，打开另外一个节点图。 “函子根据这个真实的相位分布，直接输出电压值给促动器施加局部变形，把镜面反向相位补偿量就行。” 那个光学设计师皱眉沉思了一会儿， “嗯，逻辑上好像勉强能行。” 在他的视角中。 林氏函子光学变式这个东西，还没用科学进行验证过。 所以..... 还得保持怀疑谨慎的态度才行。 林决也很赞同，“确实，这是相对理想化的推演，实际工况中，咱们还得经过反复测试。” 等到那人坐下，立马又是一个个专家站起来提问。 “没有绝对标定的参考基准，要怎么确定补偿量没有系统偏差呢？” “多路径反射杂光带来的对比度损失，你靠波前补偿怎么消掉？” “如果换高NA的更长光程，这套方法是否还能使用？” “.......” 一个个问题被抛出。 林决依旧轻松解答。 “函子是基于自伴算子的正交分解做映射，所以偏差会刚好落在补偿空间的正交方向上。” 蒋墨闻言，立马激动拍了拍桌子，跟旁边的房怀年炫耀，“你看，我的推导和林决一样吧！” 与此同时，他心中再次不忘骂了一句：“我的废物孙子！看看人家！” 林决回答继续着， “对比度损失的话.......函子算全局波前的时候，已经把所有多路径反射，当成传播群里的高阶元素算进全局解里。 所以，在这个过程中，已经不用在光路里塞光阑，而是可以靠镜面变形反向抵消。” “NA更长光程吗？这个问题好......” 林决之前在做PPT的时候，忘了这个问题。 不过没关系..... 【全知】启动！ 这一刻。 林决来到了整个过程的终局！ 锡滴被激光打爆，新波长的极紫外光顺着照明光路射出。 林氏函子变式的规则下...... 安装偏差，斜入射带来的相位非均匀性......全部消除。 光在15块镜子之间来回反射，固定波纹全程并未出现。 在脑海中预见了整个过程后。 林决立马关闭【全知】，微微呼出一口气， “这个方法核心，还是通过局部测量值到全局补偿场的映射规则，所以更长的光依旧能够使用。” “好了，下一个问题.......” “林决，我认为.....” “前辈的想法是对的，不过在应用林氏函子光学变式的情况下，可以这样这样，再那样那样.......” 此时此刻。 林决仿佛化身张无忌。 一人独挑六大门派高手！ 当然了...... 目前林决回答的所有问题，都只是单纯在理论上的。 这一切.....还需要跑仿真，然后再实际工程验证才行。 另外..... 别看林决刚才在众人面前装了个大的，也别看众人兴致勃勃，兴奋着讨论不停。 但这个问题要解决。 有一个最最最最重要的前提！！！ 那就是...... 林氏函子光学变式的映射关系表，需要完全成立！ 现在...... 光是验证这套东西，就不是个轻松的活。 不过嘛...... 新的方向已经打开。 在场众人无不为之兴奋。 有的虽然已经一大把年纪，但此时内心热血沸腾，却充满了无穷动力！ 如果......如果此事能成的话..... 华夏物理史书上，是否能有吾辈之名？ 黄所站起来，笑道， “所以......接下来的首要任务，是验证林氏函子光学变式的映射关系！” “只要确定没问题，那我们就按照林决所说，将工作一步步推进下去！！” 他面向诸君，深深鞠躬， “那就拜托了！诸位！”