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第359章 林决:不用适应,现在我手里已经有个方案了

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谷方绪微微叹气, “是的。” “具体问题呢?” 林决转头看了谷方绪一眼,继续问。 “目前核心短板是初期污染控制,团簇均匀分散,RLS协同控制。” 林决点了点头,找到相关的工程日志看了看。 然后便发现。 很多试样曝光时,锡挥发会产生严重超标。 这样的情况出现后,会持续污染上游多层反射镜和PelliCle保护膜。 但如果将这种情况控制住,材料灵敏度和粗糙度又会同时变差。 属于是一根筋两头堵的难点。 见状,谷方绪继续说道, “除此之外,上游高产有机配体,底层反射层整套配套链条也不完善...... 我们毕竟缺少真实EUV整机长期的工况验证平台,所以目前只能做短时间模拟曝光,难以验证晶圆连续晶圆体连续加工稳定性......” 说话间,林决已经快速阅览好几个文件。 “好的,具体情况我下来再看看。” 林决说着,将文件拿起放在腋下,然后伸出手, “谢了谷教授,希望我们能共同进步,将这个难关彻底突破!” 谷方绪看了看眼前这个少年还略显稚嫩,但却充满了自信的脸庞,心中不禁泛起些许涟漪。 “那好!共同进步!” 说罢,两人紧紧握手。 恍惚间,谷方绪好像产生一种,新老时代交替的错觉。 “好了谷教授,我先回去了,你们忙吧。” “好的。” 看着林决离去的背影,谷方绪在原地驻足良久。 说实话,谷方绪搞科研这么多年以来,其实早就不怎么吃压力了。 但看着那个背影,他却没由来感觉,自己老项目组,很可能会被对方当减速带碾压过去的错觉...... 不过...... 即使有这种感觉,但谷方绪对林决却并未有厌恶之感。 相反,从最私心的角度来讲。 他可能是整个光机所,最希望林决能在此途成功的人了...... 因为就算冯宴教授回国。 可能在材料方面的进步,前进也是有限的。 但林决呢...... 在谷方绪印象中,他总创造一些让人为之惊叹的奇迹! 冯教授能够保证下限。 但林决,却让人觉得上限能够无限拔高...... 给我证明吧林决,这是你的时代! ............. 而在接下来的两天。 光机所自下而上的所有机构,仿佛是启动了紧急事故一般。 相关的资金人手,立马给林决安装到位! 另一边。 北大物院。 许渊也是听闻了这个消息。 “这小子......咋又跑到材料学的领域蹦哒了?” 虽然语气中带着些许埋怨,但老许脸上那股子骄傲劲儿是藏不住的。 “算了,别把人材料领域的人吓到了,到时候跑来找我算账咧......” 而在数院方面。 江维汉在得知消息后,并未有丝毫意外。 之前他就听周清源说过,林决最近一段时间,老是抱着高端材料相关的学术论文看着。 江维汉并未认为,林决是因为对这方面感兴趣去做的拓展。 毕竟如果只是感兴趣的话,根本不用着看一些领域涉及极深的知识点,点到为止即可。 除此之外。 关于冯宴教授的消息,目前已经能够确定的是...... 他已经被那边官方监视,之后可能还要面临诉讼案件,反正就是变着法恶心人。 如此一来。 至少冯教授短在时间内,肯定是无法离开牢美了。 而更加证明这一点的是...... 和冯教授车发生事故的另一方,是一个名叫周扬的华裔。 经查明...... 这便是周德明之子。 在本次事故中,周扬也受到了伤,住进医院。 不过很快,周扬便被一群人带走,目前暂时不知去向...... ............. 这天早上。 光机所。 新材料组部门办公室。 通过国家科学技术中心紧急抽调,组成的十余名新材料研发团队成员,正坐在台下。 他们之中,有九成都是四十岁到六十岁之间,拥有丰富经验的尖端材料工程师。 甚至为了给林决搭班子。 连魔都首席材料研发组组长袁泽成都给叫过来了,上面的重视程度自是不用多说! 此时。 黄作平站在台上,正跟众人介绍着林决, “.......这就是我们项目组带头人林教授,以后,也由他来主持材这个新部门所有研发进度和细节把控!” “啪啪啪啪啪!!!!” 下方响起一阵阵热烈掌声。 这些原本都是其他光机所,亦或者都是中科院的人员。 所以对于如今京城光机所的研发进度,他们从科学技术中心的文件中,以及光机所某些不算明确的通告中,都是隐约猜到了一些。 而在今天早上刚来的时候。 黄作平给众人发了工程进度,小小展示了下林决近段时间,在多层膜领域所做出的成果。 现在看来..... 效果还是不错的! 黄所将林决来光机所的战绩亮出来,在场这些先前还抱有埋怨的大牛,现在就没什么话说了。 没办法。 一个多月,将多层膜误差问题,干进世界前列啊。 这踏马是什么天才!? 而且科学技术中心这两天的动静大家都看在眼里,让他们也不禁对林决产生些许好奇。 这个在材料学领域,算是新兵蛋子的林教授,能搞出个动静...... “来吧,林教授......您来说两句。” 林决点了点头,来到众人正前方。 视线轻轻扫过下方后,他缓缓开口, “欢迎大家的到来,我们的团队以后只干三件事!” “创新!” “创新!” “还他......是创新!” 微微顿了顿, “我已经和谷教授商量过,接下来......咱们主要攻克方向是EUV光刻胶方向。” 闻言,在座众学者们不由得微微一愣。 EUV光刻胶!? 那可是光刻机材料领域中,最难啃的骨头,也是和国外代差最严重的几个领域之一了。 这......一上来难度就拉满了吗? “林教授,我有话说。” 坐在前方的魔都光机所材料组长袁泽成举手。 “袁教授请......” “咱们作为一个新的团队,是不是应该先尝试难度稍微小一些的方向,比如NEG吸气薄膜材料,亦或者基体润滑涂层...... 咱们班子刚刚组成,总得给些时间适应适应。” 袁泽成这话说得其实完全在理。 林决一上来就要弄光刻胶,确实有点过于不把这个难题当个事儿了! 这可是EUV链路中,对各个环节耦合最深最难的材料之一。 涉及覆盖面和难度,都不是一个两个,短时间内很难解决的。 一个新团队,面对此种难题,不用想也知道,刚开头便会四处碰壁,难以进行。 但...... 袁泽成还是不够了解林决。 然后在众人视线中,林决看向袁教授,认真说道, “不用适应,现在我手里已经有个方案了......”

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